Honeywell, yarı iletken üretimi gibi yüksek saflık gerektiren hatlar için 13MM Basınç Sensörünü tanıttı. Ürün, gofret proseslerinde kirletici ve kusurları en aza indirmeyi, verimi en üst düzeye çıkarmayı hedefleyen temiz oda standardında geliştirildi. Şirketin Sensing Solutions birimi, yarı iletken alanında ‘kalitenin her şey’ olduğu vurgusunu yaparken, süreçlere yabancı madde eklemeden ölçüm yapabilen sensör teknolojilerine talebin hızla arttığını belirtiyor. Bu çerçevede 13MM çözümünün hassas ölçüm ve daha güvenilir üretim için entegrasyon avantajı sağladığı mesajı veriliyor.
VAKUMDA KARARLILIK
Pek çok sensör, vakum ortamlarında sürüklenme (drift) göstererek zamanla doğruluğunu kaybedebiliyor. Honeywell’in 13MM modeli ise uzun süreli vakum koşullarında ofset kaymasını en aza indirecek biçimde tasarlandı. Böylece yüksek basınç ve yüksek sıcaklık altında dahi kararlı ve doğru ölçüm performansı öne çıkıyor. Firma, yarı iletken üretiminde yaygın kullanılan çeşitli proses gazları ile ekipmanların spesifikasyon içinde çalışmasına yardımcı olarak, hedeflenen ince özellikli yonga mimarilerinin tutarlılıkla oluşmasına katkı sunduğunu vurguluyor.
SEMI F20 UYUM
Sensör, yarı iletken endüstrisinin katı metal bileşimi ve yüzey pürüzlülüğü gerekliliklerini tanımlayan SEMI F20 standardına uyumlu olacak şekilde geliştirildi. Böylece sensörden prosese minimum safsızlık taşınması amaçlanıyor. Şirket, bu tasarımın kusurları azaltmaya, genel verimi yükseltmeye ve işleme sırasında hurda yonga oranını düşürmeye katkı sağlayacağını aktarıyor. Uygulama alanı yalnızca çip üretimiyle sınırlı değil: güneş paneli ve ekran üretimi, biyofarmasötik süreçler, gıda-içecek hatları, gelişmiş optik ve tıbbi ekipman üretimi gibi UHP ortam gerektiren sektörler de hedefleniyor.
UHP İÇİN TASARIM
Honeywell’in 13V Serisi paslanmaz çelik basınç sensörleri ailesi, zorlu ortamlarda gaz ve sıvı akışının ölçüldüğü UHP uygulamaları için referans birikimine sahip. Yeni 13MM, yağdan izole edilmiş bir muhafaza içine yerleştirilen, Honeywell’in kanıtlanmış piezorezistif yarı iletken sensör çipini kullanıyor. SEMI F20 uyumlu halka ve diyafram ile gelen yapı; olağanüstü korozyon direnci sunuyor ve yarı iletken proseslerinde sık karşılaşılan halojenli gazların agresif doğasına dayanacak şekilde özel olarak tasarlanmış bulunuyor. Bu sağlam paketleme, çevresel faktörlere karşı koruma sağlarken yüksek doğrulukta basınç ölçümü yapılmasına imkân veriyor.
PROSESTE KAZANÇ
Honeywell, sensörün uzun süreli vakum altında ofset kaymasını minimize eden karakteri sayesinde ölçüm doğruluğu ve malzeme bütünlüğünün kritik olduğu hatlarda operasyonel istikrar sağlanacağını, bunun da firelerin azaltılmasına ve çıkış kalitesinin tutarlılaşmasına yardım edeceğini ifade ediyor. Yarı iletken hatlarında kir, partikül ve metal safsızlığı riskine karşı geliştirilen bu yaklaşım, temiz oda denetimleri ve ara proses kontrolleri ile birlikte toplam verim optimizasyonunu desteklemeyi amaçlıyor.
